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雖然高目數砂紙磨樣效率相對較低，但能使試樣表面的劃痕變得更淺、更細密，逐漸消除粗砂紙留下的痕跡，使試樣表面達到更高的平整度和光潔度。在對試樣表面質量要求的情況下，如進行光譜分析，需要使用高目數砂紙進行精磨，以確保試樣表面的狀態符合分析要求。但如果一開始就使用高目數砂紙對未經粗磨的試樣進行打磨，會花費大量時間且效率極低。
如果試樣表面存在嚴重的氧化皮、毛刺或較大的加工余量，應先用低目數的砂紙進行粗磨，快速去除這些雜質和不平整部分，如 40# - 60# 的砂紙，之后再用較高目數的砂紙進行細磨和精磨。
對于表面狀況較好的試樣，可以直接從較高目數的砂紙開始磨樣，如 150# - 200#，這樣可以節省磨樣時間，同時避免過度磨削對試樣表面造成不必要的損傷。
對于一些對表面平整度和光潔度要求不是特別高的常規光譜分析，通常將試樣表面磨到 200# - 400# 砂紙的效果即可滿足要求，能去除表面雜質并提供相對平整的表面，使光譜分析能夠順利進行。
若使用光譜磨樣機，要檢查設備是否正常運行，包括砂盤的轉速是否穩定、電機有無異常噪音、傳動部件是否靈活等。同時確保磨樣機的防護裝置且有效。
細磨和精磨
更換砂紙：粗磨完成后，關閉磨樣機，更換為較高目數的砂紙，按照從低目數到高目數的順序依次進行細磨和精磨。每次更換砂紙時，都要將砂盤和試樣表面清理干凈，防止粗砂粒等雜質混入，影響細磨和精磨效果。
調整參數：隨著砂紙目數的增加，磨樣時施加的壓力應逐漸減小，避免過度磨削導致表面損傷。同時，磨樣機的轉速也可根據需要適當調整，一般來說，高目數砂紙磨樣時轉速可以稍低一些，以磨樣質量。
完成磨樣：按照與粗磨相同的操作方法，使用不同目數的砂紙逐步對試樣進行細磨和精磨，直到試樣表面達到光譜分析所要求的平整度和光潔度。在精磨階段，要特別注意觀察試樣表面的質量，確保表面無明顯劃痕、凹坑等缺陷。
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