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刀片切割是指利用金剛石刀片對晶圓進行切割的工藝,這是一種純粹的物理切割來分裂晶圓,一般厚度100um以上的晶圓適用于該劃片方式。金剛石刀片在高速旋轉時沿切割道移動,將晶圓完全切透,同時會使用水來冷卻刀片和晶圓,減少熱損傷以及帶走切割產生的碎屑。
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劃片刀的選擇一般來說要兼顧切割質量、切割刀片壽命和生產成本。金剛石顆粒尺寸影響劃片刀的壽命和切割質量。較大的金剛石顆粒度可以在相同的刀具轉速下,磨去更多的硅材料,因而刀具的壽命可以得到延長。然而,它會降低切割質量(尤其是正面崩角和金屬/ILD得分層)。所以,對金剛石顆粒大小的選擇要兼顧切割質量和制造成本。
金剛石顆粒的密度對切割質量的控制也十分關鍵。對于相同的金剛石顆粒大小但具有不同密度的刀片,劃片刀每一個旋轉周期移去的硅材料是相同的,但是,平均到每一個金剛石顆粒移去的硅材料的量是不同的。
劃片機一般提供兩種切割模式,單刀切割(Single Cut)和臺階式切割(Step Cut),實驗證明,劃片刀的設計不可能同時滿足正面崩角、分層及背面崩角的質量控制的要求。這個結論對于晶圓厚度大于7 mil的低k晶圓尤為適用。為了減小正面金屬層與ILD層的分層,薄劃片刀會被采用,若晶圓較厚,則需選取刀鋒較長的刀片。但須注意,具有較高刀鋒/刀寬比的劃片刀在切割時會產生擺動,反而會造成較大的正面分層及背面崩角。
半導體晶圓切割用劃片刀頭在切割時,線速度是一個非常重要的參數,可以直接影響到切割效率和切割質量。 以下是關于金剛石刀頭切割過程中線速度的介紹: 線速度是指切割線每分鐘旋轉的圈數,單位為m/min。 線速度過快,金剛石顆粒就會被削短,使刀頭變鈍,而且金剛石顆粒很容易掉落,影響切割質量。 線速度過慢,刀頭會過度磨損,切割效率低下。 金剛石刀頭切割時,應根據不同的材料選擇合適的線速度。
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因為硅材料的脆性,機械切割方式會對晶圓的正面和背面產生機械應力,結果在芯片的邊緣產生正面崩角(FSC- Front Side Chipping)及背面崩角(BSC – Back Side Chipping)。
正面崩角和背面崩角會降低芯片的機械強度,初始的芯片邊緣裂隙在后續的封裝工藝中或在產品的使用中會進一步擴散,從而可能引起芯片斷裂,導致電性失效。另外,如果崩角進入了用于保護芯片內部電路、防止劃片損傷的密封環(Seal Ring)內部時,芯片的電氣性能和可靠性都會受到影響?!?br />
封裝工藝設計規則限定崩角不能進入芯片邊緣的密封圈。
汐源科技現擁有萬級凈化生產制造廠房500平米 測試廠房300平米 生產測試設備均為行業內普遍使用和認可的設備。配備了半導體集成電路測試儀 分立器件測試儀 全自動金絲硅鋁絲壓焊機 全自動粗鋁絲壓焊機 平行縫焊機 激光縫焊機 燒結爐 平行逢焊機 氦質譜檢漏儀 氟油粗檢儀 高溫反偏老化 高低溫環境試驗箱 拉力剪切力測試儀 恒定加速度離心機 顆粒噪聲檢測儀 沖擊臺 電動振動臺等 確保了產品按項目嚴格進行篩選。
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高密度的金剛石顆??梢匝娱L劃片刀的壽命,同時也可以減少晶圓背面崩角。而低密度的金剛石顆??梢詼p少正面崩角。硬的粘結材料可以更好地“固定”金剛石顆粒,因而可以提高劃片刀的壽命,而軟的粘結材料能夠加速金剛石顆粒的“自我鋒利”(Self Sharpening)效應,令金剛石顆粒保持尖銳的棱角形狀,因而可以減小晶圓的正面崩角或分層,但代價是劃片刀壽命的縮短。刀鋒的長度應根據晶圓的厚度,承載薄膜的厚度,大允許的崩角的尺寸來進行定義,刀鋒不能選得過長,因為長的刀鋒會在切割時引起刀片的擺動,會導致較大的崩角。
| 主營行業:灌封膠水 |
| 公司主營:灌封膠,三防漆,導電膠,導熱墊片--> |
| 采購產品:灌封膠,導熱膠,導電膠,絕緣墊片 |
| 主營地區:北京 |
| 企業類型:有限責任公司(自然人投資或控股) |
| 注冊資金:人民幣2000000萬 |
| 公司成立時間:2016-02-02 |
| 員工人數:小于50 |
| 經營模式:生產型 |
| 最近年檢時間:2016年 |
| 登記機關:朝陽分局 |
| 經營范圍:技術開發、技術咨詢、技術服務、技術轉讓,銷售社會公共安全設備、電子產品、儀器儀表,橡塑制品、五金交電(不從事實體店鋪經營)、金屬材料、化工產品(不含危險化學品)、計算機、軟件及輔助設備。(企業依法自主選擇經營項目,開展經營活動;依法須經批準的項目,經相關部門批準后依批準的內容開展經營活動;不得從事本市產業政策禁止和限制類項目的經營活動。) |
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