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汕頭M4D9-17劃片刀,海淀M4D9-17劃片刀,鶴壁M4D9-17劃片刀,岳陽M4D9-17劃片刀 |
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刀片主要由金剛石顆粒,結合劑等組成。結合劑用于固定刀片中的金剛石顆粒。因此,刀片的性能主要由金剛石顆粒尺寸,金剛石顆粒濃度,結合劑的種類決定。
我們一般根據結合劑類型將刀片分為硬刀和軟刀。軟刀通常使用樹脂作為結合劑,具有較好的柔韌性,一般用于切割硬脆材料,如石英、玻璃、陶瓷、硬質合金,LT,LN,AlN等。而硬刀通常采用金屬結合劑或電鍍結合劑,這使得硬刀具有較高的剛性和耐磨性,適合切割較硬的材質,如硅片,PCB板等。
劃片刀又稱金剛石劃片刀,包含三個主要元素:金剛石顆粒的大小、密度和粘結材料。 金剛石顆粒在晶圓的切割過程中起著研磨劑的作用,通常是由CBN (Cubic Boron Nitride)合成而來。 金剛石顆粒尺寸從2um到8um之間變化。 為達到更好的切割質量,通常選用帶棱角的金剛石顆粒。 金剛石顆粒的密度代表著金剛石顆粒占金剛石刀片的體積比。
劃片刀的選擇一般來說要兼顧切割質量、切割刀片壽命和生產成本。金剛石顆粒尺寸影響劃片刀的壽命和切割質量。較大的金剛石顆粒度可以在相同的刀具轉速下,磨去更多的硅材料,因而刀具的壽命可以得到延長。然而,它會降低切割質量(尤其是正面崩角和金屬/ILD得分層)。所以,對金剛石顆粒大小的選擇要兼顧切割質量和制造成本。
金剛石顆粒的密度對切割質量的控制也十分關鍵。對于相同的金剛石顆粒大小但具有不同密度的刀片,劃片刀每一個旋轉周期移去的硅材料是相同的,但是,平均到每一個金剛石顆粒移去的硅材料的量是不同的。