基本的清掃
一般保持無塵室的清潔度，需要一系列的作業流程。制定清掃標準及符合標準的基本清掃方法。
基本清掃的分類清掃
從清掃前的狀態到清掃完畢后達到期望的潔凈度，可以分為三類：“粗清掃”、“普通清掃”和“精密清掃”。
a)“粗清掃”---去除直徑在50μ以上的大顆粒。這種類型的顆粒一般在地面，更衣室，風淋室常見。生產作業過程中發生的，磨耗壞損、溢出的異物是污染接觸面及地面的原因之一。建筑物發塵和設備維修也是多產生大顆粒異物的原因。
b)“普通清掃”---去除直徑在10μ~50μ較小顆粒的異物。適用一般無塵室接觸面。通常，墻壁和作業臺包括在普通清潔范圍之內。在粗清掃之后，還會有很多異物殘留，普通清掃可以達到更高的潔凈度標準。
c)“精密清掃”---去除10μ以下的殘留異物。精密清掃是在產品制造場所和保管場所以及附近的接觸面進行。

濕式清掃
與液體接觸的表面，需要采用擦拭+真空清潔的濕式清掃方式。濕式清掃是廣泛被應用的清掃方式，以下是具體的介紹：
a)“擦洗清掃”是為了去除臟污和重度污染，采用機械或手動進行的一種粗清掃方法。注意防止擦洗所使用的機器或用具自身的發塵污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸濕器將多余的水除去。
b)“拖把清掃”是粗清掃、普通清掃中去除臟污很有效的一種方法。拖把清掃是在真空除塵之后，去除殘余液體的清掃方法。擦洗適用于局部區域，而拖把則適用于地面或是大面積區域。拖地水好是經過過濾的離子水或蒸餾水，并頻繁更換干凈的拖地水。區域更換拖地水的頻率要更高。對于“粗清掃”來說，拖地水以變色為更換標準，清洗干凈水桶之后再接滿水。“普通清掃”和“精密清掃”的標準是在水未變色之前就要換水。因此好有兩個以上的水桶以免頻繁的換取水。必要時配合使用非離子合成洗劑或是接口活性劑清潔。為了避免拖地后剩水太多，盡量將拖把擰干。擰干之后拖地雖然還是會有水殘留，但是會干很快。為地面都被拖到，請重復拖拭。重復拖地時，將拖把換面，防止臟污面將拖干凈的地面再度污染。注意也不要頻繁的重復拖拭，避免再度污染。墻角的地方需要使用特殊的拖把清掃。

機械設備有很多供輸管道、電線和連接部位，清掃時要注意檢查管道和電線的破損情況，斷開電源之后再進行清掃，防止危險的發生。機械設備有很多與產品直接接觸的接觸面，好進行等級劃分，根據潔凈度等級要求選擇合適的清掃方式，并對不同等級區域進行標示，方便清掃正確進行。
a)設備的外表面跟無塵室內的潔凈度是一致的。同墻壁、水平面、垂直面一起按照合適的順序清掃。
b)設備的內表面分為設備內壁和內部設備接觸面。內壁將重要的產品生產區域隔離開，內壁的清掃應該在內部設備接觸面清潔之后再進行清潔。內部設備接觸面的清掃除了要清潔之外還要定期保養維護。
c)與產品接觸的接觸面是離產品近的地方，因此有產品在時不可按照清掃順序及流程進行，需根據潔凈度要求進行，并以文件方式規定。