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潔凈度要求高的接觸面（接觸面）
對潔凈度要求高的接觸面一般是：制造生產地點及其周邊區域，會直接污染產品，對生產過程造成影響的場所。這些接觸面需要保持高的潔凈度。單一方向氣流的儲物柜，作業臺，工作隔離區等的隔離裝置，通常這些接觸面需要管控潔凈度。
劃分清掃表面
無塵室內所有的接觸面都有被污染的可能性，所以要規定清掃的頻率。根據無塵室內生產的重要度對不同的接觸面進行等級劃分。清掃方法根據不同的清潔度等級要求進行。為達到不同等級的清潔度要求，對清掃方法進行文件性規定。
玻璃及玻璃產品的碎屑等大的廢棄物被真空吸塵器去除。吸不到的地方可以在進行擦洗前進行明確標示。地面按照規定的流程使用濕式或者藥液清掃方式。清掃期間，采用純水或是藥液時，為降低污染應該頻繁換水。對于大面積的地面，除了按照規定流程作業外，為方便管理將地面劃分不同區域進行清掃。清掃應從區域向一般區域方向進行。在無塵室內的清掃順序并不是一成不變的，在潔凈度要求很高的時候，有時要重復使用拖把，達到地面干凈。 清掃時，為了防止不經意的危險，遇到阻礙物要迂回擦拭。藥液和純水拖地之后用真空吸濕器將多余的水吸走，縮短干燥時間。對于去除地面頑固性臟污，采用水噴霧/擦洗+真空吸濕器清掃。
桌子、其他重要的水平接觸面
桌子、其他重要的水平接觸面按照以上介紹的清掃方法選擇合適的方式進行。使用藥液從區域向一般區域方向擦拭，除去臟污。
椅子、家具
擦拭按從上到下的順序進行。墊子、支架及車輪也在清掃的范圍之內。
根據無塵室的用途，在需要的場合采用表面處理溶劑，這種處理劑，對無塵室內的產品有一定的保護作用，清潔完成后就不要再使用處理溶劑了。溶劑效果會隨著時間的變化而減弱，降低無塵室的清潔度。使用這種處理劑，不能持續管理的話，就會有設備、產品污染的風險。所以使用時，要定期的對無塵室進行檢查實驗，確保無塵室不被污染。如果處理劑效果變弱，潔凈度降低，需要馬上采取改善對策。
制定清掃流程
制定清掃流程是要先將各種無塵室的接觸面進行等級分類，并了解不同表面的污染速度。清掃流程根據無塵室要求的潔凈度制定合適的清掃頻率。對表面污染進行試驗和評估之后，做成流程手冊。對無塵室內的制造工程、產品要求事項、清掃頻率（每日一次/每周一次或其他頻率）等進行相關規定。
