塵室設計時，要注意盡量避免可能發生的污染。設備日常運作、保養、生產過程，人員活動及其他要素是無塵室內污染并擴散的原因。因此，希望在不影響產品和生產進度的前提下，對污染進行充分的清潔。清潔程序按照不影響生產要求的潔凈度前提下，制定整體的清潔方案。清潔好避開生產作業時。如果無法避開，要把影響降到低并對制定特定的清潔程序。

一般無塵室接觸面

在無塵室內，除去生產地點，單一方向氣流的局部管控之外的接觸面為一般無塵室接觸面。為了防止一般接觸面的異物移動污染到接觸面，需要對一般接觸面進行定期的清掃。

真空清掃是粗清掃和普通清掃常用的，一般區域和區域清掃中重要的步。真空清掃是水+拖把清掃的前提，對除去大顆粒異物，玻璃碎屑效果明顯，但是并不能取代水+拖把清掃。真空清掃請務必按同一方向進行，以免造成地面及作業員周圍空氣亂流。真空清掃使用HEPA（濾網）、ULPA（低效濾網）及真空除塵器。如果有可吸入液體的真空吸濕器，在拖地時和拖完后，地面上剩余的水或浮游顆粒可被去除，起到干燥作用。

玻璃及玻璃產品的碎屑等大的廢棄物被真空吸塵器去除。吸不到的地方可以在進行擦洗前進行明確標示。地面按照規定的流程使用濕式或者藥液清掃方式。清掃期間，采用純水或是藥液時，為降低污染應該頻繁換水。對于大面積的地面，除了按照規定流程作業外，為方便管理將地面劃分不同區域進行清掃。清掃應從區域向一般區域方向進行。在無塵室內的清掃順序并不是一成不變的，在潔凈度要求很高的時候，有時要重復使用拖把，達到地面干凈。 清掃時，為了防止不經意的危險，遇到阻礙物要迂回擦拭。藥液和純水拖地之后用真空吸濕器將多余的水吸走，縮短干燥時間。對于去除地面頑固性臟污，采用水噴霧/擦洗+真空吸濕器清掃。

清掃人員需要進行必要的培訓。各工站有的人員進行清掃。的人員，經過培訓之后負責清掃工作也是很普遍的事情。

日常清掃無法涉及的表面，需要進行定期清掃。清掃中注意不要污染產品。大多數表面按周清掃，清掃時，產品要有覆蓋保護并移出清掃區域。 潔凈度沒什么要求的表面，可以按月或是更長間隔時間清掃。雖然長時間才清掃一次，但是清掃流程安排表中也要有記錄。無塵室內從上到下全體設施要有完全清掃的清掃流程安排表。完全清掃包含保管區域、服務區域、配管區及備用品類。完全清掃多在停止生產時，周末，假日或者其他沒有生產的情況下進行。在連續生產有少有假期時，完全清掃是很困難的事情，因此，要在有限的假期內集中清掃。