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SEM+EDS分析 |
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EDS的工作原理是利用高能電子束轟擊樣品表面，激發原子內層電子并產生特征X射線，通過測量X射線的能量可以確定元素的種類和濃度。
在SEM+EDS分析中，樣品的制備和處理過程對分析結果有重要影響，需要選擇合適的制備方法，避免樣品污染和損傷。
在SEM+EDS分析中，需要注意樣品的熱穩定性和化學穩定性對分析結果的影響，需要選擇合適的測試條件，避免樣品在測試過程中發生變化。
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