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無塵室內，區域及接觸面的潔凈度希望能夠按照對產品及生產過程的影響程度進行分類，制定相關的分類標準和對應的清潔標準，并按照不同類別有針對性的進行清潔。
墻壁、門、送風口、窗、側面
在單一方向氣流的無塵室內，產品生產作業時不要清掃送風口附近區域，要在停止作業時或產品移出該區域后，再或者將產品覆蓋保護之后再進行清掃。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清掃的清潔方式。具體方法根據潔凈度要求而定。非單一方向氣流的無塵室內，好在沒有生產作業時再進行清潔。
日常清掃無法涉及的表面，需要進行定期清掃。清掃中注意不要污染產品。大多數表面按周清掃，清掃時，產品要有覆蓋保護并移出清掃區域。 潔凈度沒什么要求的表面，可以按月或是更長間隔時間清掃。雖然長時間才清掃一次，但是清掃流程安排表中也要有記錄。無塵室內從上到下全體設施要有完全清掃的清掃流程安排表。完全清掃包含保管區域、服務區域、配管區及備用品類。完全清掃多在停止生產時，周末，假日或者其他沒有生產的情況下進行。在連續生產有少有假期時，完全清掃是很困難的事情，因此，要在有限的假期內集中清掃。
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