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無塵室是通過過濾系統、氣流流型，以及密封結構來除塵、保持無塵環境的。 過濾系統一般是頂部加裝凈化空調或FFU，然后吹出潔凈空氣，吹到室內。 根據潔凈等級，對出風口進行排布，形成不同的氣流流型，如垂直流凈化效果更好，潔凈等級更高，造價費用也高。亂流效果稍差一些，潔凈等級低一些，當然費用也低。 密封結構，可以用潔凈鋼板、巖棉板、PVC網格簾、亞克力板、鋼化玻璃等，形成密封結構。 多種措施一起，無塵室就可以達到除塵、保持無塵環境了。
濕式清掃
與液體接觸的表面，需要采用擦拭+真空清潔的濕式清掃方式。濕式清掃是廣泛被應用的清掃方式，以下是具體的介紹：
a)“擦洗清掃”是為了去除臟污和重度污染，采用機械或手動進行的一種粗清掃方法。注意防止擦洗所使用的機器或用具自身的發塵污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸濕器將多余的水除去。
b)“拖把清掃”是粗清掃、普通清掃中去除臟污很有效的一種方法。拖把清掃是在真空除塵之后，去除殘余液體的清掃方法。擦洗適用于局部區域，而拖把則適用于地面或是大面積區域。拖地水好是經過過濾的離子水或蒸餾水，并頻繁更換干凈的拖地水。區域更換拖地水的頻率要更高。對于“粗清掃”來說，拖地水以變色為更換標準，清洗干凈水桶之后再接滿水。
真空清掃是粗清掃和普通清掃常用的，一般區域和區域清掃中重要的步。真空清掃是水+拖把清掃的前提，對除去大顆粒異物，玻璃碎屑效果明顯，但是并不能取代水+拖把清掃。真空清掃請務必按同一方向進行，以免造成地面及作業員周圍空氣亂流。真空清掃使用HEPA（濾網）、ULPA（低效濾網）及真空除塵器。如果有可吸入液體的真空吸濕器，在拖地時和拖完后，地面上剩余的水或浮游顆粒可被去除，起到干燥作用。
