墻壁、門、送風口、窗、側面 在單一方向氣流的無塵室內，產品生產作業時不要清掃送風口附近區域，要在停止作業時或產品移出該區域后，再或者將產品覆蓋保護之后再進行清掃。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清掃的清潔方式。具體方法根據潔凈度要求而定。非單一方向氣流的無塵室內，好在沒有生產作業時再進行清潔。


天花板、出風口、照明器具 靠近送風口附近的天花板和其他固定器具，在生產作業時不要清掃。送風口和天花板網格線要深入清潔。送風口的濾網可取下清洗或是更換。更換照明燈管前要先擦拭干凈。
桌子、其他重要的水平接觸面 桌子、其他重要的水平接觸面按照以上介紹的清掃方法選擇合適的方式進行。使用藥液從區域向一般區域方向擦拭，除去臟污。 椅子、家具 擦拭按從上到下的順序進行。墊子、支架及車輪也在清掃的范圍之內。

無塵室是通過過濾系統、氣流流型，以及密封結構來除塵、保持無塵環境的。 過濾系統一般是頂部加裝凈化空調或FFU，然后吹出潔凈空氣，吹到室內。 根據潔凈等級，對出風口進行排布，形成不同的氣流流型，如垂直流凈化效果更好，潔凈等級更高，造價費用也高。亂流效果稍差一些，潔凈等級低一些，當然費用也低。 密封結構，可以用潔凈鋼板、巖棉板、PVC網格簾、亞克力板、鋼化玻璃等，形成密封結構。 多種措施一起，無塵室就可以達到除塵、保持無塵環境了。

機械設備有很多供輸管道、電線和連接部位，清掃時要注意檢查管道和電線的破損情況，斷開電源之后再進行清掃，防止危險的發生。機械設備有很多與產品直接接觸的接觸面，好進行等級劃分，根據潔凈度等級要求選擇合適的清掃方式，并對不同等級區域進行標示，方便清掃正確進行。
a)設備的外表面跟無塵室內的潔凈度是一致的。同墻壁、水平面、垂直面一起按照合適的順序清掃。
b)設備的內表面分為設備內壁和內部設備接觸面。內壁將重要的產品生產區域隔離開，內壁的清掃應該在內部設備接觸面清潔之后再進行清潔。內部設備接觸面的清掃除了要清潔之外還要定期保養維護。
c)與產品接觸的接觸面是離產品近的地方，因此有產品在時不可按照清掃順序及流程進行，需根據潔凈度要求進行，并以文件方式規定。


清掃人員需要進行必要的培訓。各工站有的人員進行清掃。的人員，經過培訓之后負責清掃工作也是很普遍的事情。
制定清掃流程
制定清掃流程是要先將各種無塵室的接觸面進行等級分類，并了解不同表面的污染速度。清掃流程根據無塵室要求的潔凈度制定合適的清掃頻率。對表面污染進行試驗和評估之后，做成流程手冊。對無塵室內的制造工程、產品要求事項、清掃頻率（每日一次/每周一次或其他頻率）等進行相關規定。


質量控制
定期檢測：通過的塵埃粒子計數器、微生物檢測設備等對無塵室的潔凈度進行定期檢測，確保環境指標符合相關標準和生產要求。檢測結果應記錄在案，以便及時發現問題并采取相應的措施進行改進。
人員培訓：加強對保潔人員的培訓，提高其對無塵室保潔工作的認識和技能水平，使其能夠嚴格按照清潔流程和規范進行操作，確保清潔工作的質量和效果。同時，定期對保潔人員進行考核，激勵其不斷提高工作質量。
監督檢查：建立完善的監督檢查機制，由專人對保潔工作進行日常監督和定期檢查，及時發現清潔工作中的不足之處，并督促保潔人員進行整改。對于不符合質量要求的清潔工作，應及時返工，確保無塵室始終保持高潔凈度的狀態。