濕式清掃
與液體接觸的表面，需要采用擦拭+真空清潔的濕式清掃方式。濕式清掃是廣泛被應用的清掃方式，以下是具體的介紹：
a)“擦洗清掃”是為了去除臟污和重度污染，采用機械或手動進行的一種粗清掃方法。注意防止擦洗所使用的機器或用具自身的發塵污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸濕器將多余的水除去。
b)“拖把清掃”是粗清掃、普通清掃中去除臟污很有效的一種方法。拖把清掃是在真空除塵之后，去除殘余液體的清掃方法。擦洗適用于局部區域，而拖把則適用于地面或是大面積區域。拖地水好是經過過濾的離子水或蒸餾水，并頻繁更換干凈的拖地水。區域更換拖地水的頻率要更高。對于“粗清掃”來說，拖地水以變色為更換標準，清洗干凈水桶之后再接滿水?！捌胀ㄇ鍜摺焙汀熬芮鍜摺钡臉藴适窃谒醋兩熬鸵獡Q水。因此好有兩個以上的水桶以免頻繁的換取水。必要時配合使用非離子合成洗劑或是接口活性劑清潔。為了避免拖地后剩水太多，盡量將拖把擰干。擰干之后拖地雖然還是會有水殘留，但是會干很快。為地面都被拖到，請重復拖拭。重復拖地時，將拖把換面，防止臟污面將拖干凈的地面再度污染。注意也不要頻繁的重復拖拭，避免再度污染。墻角的地方需要使用特殊的拖把清掃。

玻璃及玻璃產品的碎屑等大的廢棄物被真空吸塵器去除。吸不到的地方可以在進行擦洗前進行明確標示。地面按照規定的流程使用濕式或者藥液清掃方式。清掃期間，采用純水或是藥液時，為降低污染應該頻繁換水。對于大面積的地面，除了按照規定流程作業外，為方便管理將地面劃分不同區域進行清掃。清掃應從區域向一般區域方向進行。在無塵室內的清掃順序并不是一成不變的，在潔凈度要求很高的時候，有時要重復使用拖把，達到地面干凈。 清掃時，為了防止不經意的危險，遇到阻礙物要迂回擦拭。藥液和純水拖地之后用真空吸濕器將多余的水吸走，縮短干燥時間。對于去除地面頑固性臟污，采用水噴霧/擦洗+真空吸濕器清掃。

日常清掃是為了防止異物污染到重要區域，按照合適的頻率實行的所有相關的作業。無塵室清掃根據潔凈程度評估，按照一日數次，一日一次或是數日一次的頻率進行。更衣室、搬入區、大廳等的公共區域去除廢棄物采取的真空除塵器，地面水拖拭，其他表面擦拭等是可以在生產作業時間內進行的。無塵室各個房間，按照產品和制造工程的重要度，對清掃流程進行的規定并文件化。更衣室和活動區域至少要一天一次清掃，因為這些區域都是人員活動密集區，異物聚集程度很高。因此，為了確保潔凈度，防止異物轉移污染，這些區域要比無塵室內一般區域清掃頻度高，像無塵室區域一樣頻繁的清掃。