塵室設計時，要注意盡量避免可能發生的污染。設備日常運作、保養、生產過程，人員活動及其他要素是無塵室內污染并擴散的原因。因此，希望在不影響產品和生產進度的前提下，對污染進行充分的清潔。清潔程序按照不影響生產要求的潔凈度前提下，制定整體的清潔方案。清潔好避開生產作業時。如果無法避開，要把影響降到低并對制定特定的清潔程序。

無塵室內，區域及接觸面的潔凈度希望能夠按照對產品及生產過程的影響程度進行分類，制定相關的分類標準和對應的清潔標準，并按照不同類別有針對性的進行清潔。

潔凈度要求高的接觸面（接觸面）

對潔凈度要求高的接觸面一般是：制造生產地點及其周邊區域，會直接污染產品，對生產過程造成影響的場所。這些接觸面需要保持高的潔凈度。單一方向氣流的儲物柜，作業臺，工作隔離區等的隔離裝置，通常這些接觸面需要管控潔凈度。

真空清掃是粗清掃和普通清掃常用的，一般區域和區域清掃中重要的步。真空清掃是水+拖把清掃的前提，對除去大顆粒異物，玻璃碎屑效果明顯，但是并不能取代水+拖把清掃。真空清掃請務必按同一方向進行，以免造成地面及作業員周圍空氣亂流。真空清掃使用HEPA（濾網）、ULPA（低效濾網）及真空除塵器。如果有可吸入液體的真空吸濕器，在拖地時和拖完后，地面上剩余的水或浮游顆粒可被去除，起到干燥作用。

玻璃及玻璃產品的碎屑等大的廢棄物被真空吸塵器去除。吸不到的地方可以在進行擦洗前進行明確標示。地面按照規定的流程使用濕式或者藥液清掃方式。清掃期間，采用純水或是藥液時，為降低污染應該頻繁換水。對于大面積的地面，除了按照規定流程作業外，為方便管理將地面劃分不同區域進行清掃。清掃應從區域向一般區域方向進行。在無塵室內的清掃順序并不是一成不變的，在潔凈度要求很高的時候，有時要重復使用拖把，達到地面干凈。 清掃時，為了防止不經意的危險，遇到阻礙物要迂回擦拭。藥液和純水拖地之后用真空吸濕器將多余的水吸走，縮短干燥時間。對于去除地面頑固性臟污，采用水噴霧/擦洗+真空吸濕器清掃。

機械設備有很多供輸管道、電線和連接部位，清掃時要注意檢查管道和電線的破損情況，斷開電源之后再進行清掃，防止危險的發生。機械設備有很多與產品直接接觸的接觸面，好進行等級劃分，根據潔凈度等級要求選擇合適的清掃方式，并對不同等級區域進行標示，方便清掃正確進行。
a)設備的外表面跟無塵室內的潔凈度是一致的。同墻壁、水平面、垂直面一起按照合適的順序清掃。
b)設備的內表面分為設備內壁和內部設備接觸面。內壁將重要的產品生產區域隔離開，內壁的清掃應該在內部設備接觸面清潔之后再進行清潔。內部設備接觸面的清掃除了要清潔之外還要定期保養維護。
c)與產品接觸的接觸面是離產品近的地方，因此有產品在時不可按照清掃順序及流程進行，需根據潔凈度要求進行，并以文件方式規定。